Startup SALD sieht Nanobeschichtungen überall
05/03/2021
„Nanobeschichtungen werden künftig die industrielle Fertigung in beinahe allen Branchen revolutionieren“, behauptet Frank Verhage, CEO des niederländischen Startups SALD B.V. (Eindhoven). Der Firmenname steht als Abkürzung für die Nanobeschichtungs-Technologie „Spatial Atom Layer Deposition“ (SALD). In der Halbleiterindustrie wären die heutigen hochintegrierten Chips ohne das Vorgängerverfahren „Atom Layer Deposition“ (ALD) mit beispielsweise 11,8 Milliarden Schaltkreisen in Apples neuestem A14-Prozessor bei einer Strukturbreite von 5 Nanometern unmöglich, sagt der SALD-Chef. Sein Unternehmen bringt die nanodünnen Beschichtungen im wahrsten Sinne des Wortes in eine neue Dimension: „Spatial“ steht für „räumlich“ und bezeichnet dreidimensionale Atomschichten. Mit SALD lässt sich die Produktionsgeschwindigkeit bei gleichbleibender Beschichtungsqualität um das Fünf- bis Zehnfache steigern gegenüber dem heute verwendeten ALD-Verfahren. Im Folgenden wird erklärt, was es mit dieser vom Anbieter „bahnbrechend“ genannten Technologie auf sich hat und welche Anwendungen sich daraus ergeben können.
Dreidimensionale atomare Nanobeschichtungen
Beim Verfahren „Spatial Atom Layer Deposition“ werden atomare Nanobeschichtungen dreidimensional auf Oberflächen aufgetragen. Jede Schicht ist so dick oder besser dünn wie ein einzelnes Atom, die nebeneinander liegend die Oberfläche umschließen. Eine einzelne Ebene ist etwa 1,1 Angström dünn, das entspricht 0,00000011 Millimetern. Der Clou ist die Mischung: Mit jeder Schicht können jeweils andere Materialien aufgebracht werden, so dass es zu einer chemischen Reaktion mit der zuvor aufgetragenen Substanz kommt. Bei den Oberflächenmaterialien kann es sich beispielsweise um Metalle, Oxide, Nitride, Sulfide, Fluoride oder andere Stoffe handeln. Die jeweilige chemische Reaktion verändert die Funktionalität der Gesamtoberfläche.
